
研究團(tuán)隊(duì)在《工程成果》期刊發(fā)表的論文中指出,早期研究顯示高頻交流電可利用集膚效應(yīng)改善多晶硅棒溫度均勻性。新建模型涵蓋大型還原爐的熱行為、電行為及多環(huán)相互作用,通過Comsol軟件對(duì)多晶硅材料進(jìn)行數(shù)值模擬,整合了焦耳加熱、直流與傳熱模型。團(tuán)隊(duì)詳細(xì)設(shè)定了邊界條件與關(guān)鍵參數(shù),以確定反應(yīng)器內(nèi)的溫度梯度。
為驗(yàn)證模型準(zhǔn)確性,研究人員將模擬電壓與工業(yè)80棒還原爐實(shí)際數(shù)據(jù)對(duì)比。論文表明,該模型對(duì)熱電行為的預(yù)測(cè)相對(duì)誤差小于10%。研究人員表示:“交流加熱顯著改善了溫度均勻性”,調(diào)整頻率可有效降低中心溫度?;谒沫h(huán)平均數(shù)據(jù)構(gòu)建的回歸方程預(yù)測(cè)準(zhǔn)確,平均相對(duì)誤差為4.62%。
研究顯示,頻率與直徑在5千赫至200千赫范圍內(nèi)存在強(qiáng)相互作用,超過300千赫后溫差趨于穩(wěn)定。這一多晶硅還原爐模型為工業(yè)應(yīng)用提供了理論依據(jù),有助于推動(dòng)多晶硅生產(chǎn)工藝的優(yōu)化。



